TJ抛光硅片群孔加工碳化硅晶片盲孔激光切割

TJ抛光硅片群孔加工碳化硅晶片盲孔激光切割

超薄硅片打孔是一项非常精细的工序，因为硅片较薄，打孔的时候不能损坏其表面的精度，打孔的密度、孔径大小需要达到一定的精度以及所要求的大小。

激光打孔是将光斑直径缩小到微米级，从而获得高的激光功率密度，几乎可以在任何材料实行激光打孔。其特点是可以在硬度高、质地脆或者软的材料上打孔，孔径小、加工速度快、。

超薄硅片使用激光打孔可以打出小孔:1.00～3.00(mm);次小孔:0.40～1.00(mm);超小孔:0.1～0.40(mm);微孔:0.01～0.10(mm);

激光切割技术集光学、精密机械、电子技术和计算机技术于一体，于传统方法相比：

1、加工速度快；

2、窄切槽（20um-30um），晶圆利用率高；

3、非接触式加工，适合薄基圆；

4、自动化程度高，任意图形切割。目前激光切割技术可以应用于切割硅片、低k材料、发光二极管衬底、微机电系统和薄膜太阳能电池等光电及半导体材料。